Hvordan belegger ultralydspraydysen fotoresisten?

Ultrasonisk spraybeleggteknologi er en ny teknologi som for tiden spiller en betydelig rolle i ulike bransjer. Større antall kunder velger nå ultralyddyse for belegg. Sammenlignet med tradisjonell to-væskespraying gir ultralydspraying betydelige fordeler når det gjelder beleggkvalitet, materialutnyttelse og prosesskompatibilitet.

 

Vårt firma tilbyr gratis prøvetestingstjenester, og et økende antall kunder sender oss prøver for testing. Vårt utstyr har fått positive anmeldelser og anerkjennelse fra våre kunder.

 

I dag skal vi diskutere ultrasonisk fotoresistspraying, en relativt vanlig type materialspraying.

 

Fotoresist er et tynnfilmmateriale som er følsomt for lys eller stråling og brukes først og fremst til finmønstre i felt som integrerte kretser og skjermpaneler. Den fungerer som et etsebestandig-belegg i fotolitografiprosessen. Dens løselighet endres ved eksponering for lys, og danner det ønskede kretsmønsteret. Fotoresister er kategorisert i positiv-tone (eksponerte områder løses opp) og negativ-tone (ueksponerte områder løses opp). Avhengig av eksponeringslyskilden, er de klassifisert i UV-, dyp UV-, ekstrem UV- og elektronstrålemotstand.

Kjernen i forstøvningsteknologi for ultralydfotoresist er bruken av ultralydvibrasjonsenergi for å oppnå effektiv og jevn forstøvning av fotoresisten. Nøyaktig luftstrømkontroll leverer deretter de forstøvede dråpene til substratoverflaten, og danner et belegg av høy-kvalitet. Prosessen kan deles inn i tre hovedfaser:

 

 

1. Forstøvning av fotoresist: Høy-vibrasjon bryter ned overflatespenningen til væsken.

Kjernekomponenten i ultralydsprøyteteknologien er ultralydforstøvningsdysen, som huser en piezoelektrisk keramisk vibrator. Når et høyfrekvent elektrisk signal påføres vibratoren, genererer den mekaniske vibrasjoner med samme frekvens, og overfører vibrasjonsenergien til munnstykkets forstøvningsoverflate. Etter at fotoresisten er levert til forstøvningsoverflaten gjennom væsketilførselssystemet, bryter de høyfrekvente vibrasjonene raskt ned væskens overflatespenning, og danner mikron-dråper med ensartet diameter (typisk 5μm-50μm).

Sammenlignet med tradisjonell trykkforstøvning (som er avhengig av høy-luftstrøm for å bryte opp væsken), eliminerer ultralydforstøvning behovet for interferens med høy-luftstrøm, noe som resulterer i en jevnere dråpestørrelsesfordeling (innen ±10 %). Den unngår også sprutende dråper eller forstyrrelse av underlagets overflate på grunn av luftstrømpåvirkning.

 

2. Nøyaktig kontroll av overføringsbanen

Vårt firma har profesjonelle programmeringsingeniører som uavhengig kan programmere forstøvningsspraybanen. Vi kan også tilpasse forskjellige sprøytebaner i henhold til kundens krav. Vi har moden erfaring i produksjon av komplette maskiner. For hver enhet programmerer vi den for kunden. På skjermen ser kunden-spraybanen i sanntid. I tillegg til banevalg, må vi også justere luftstrømhastigheten (for å kontrollere overføringsavstanden, typisk 5-50 mm) og den relative posisjonen til dysen og substratet (ved å bruke en robotarm eller translasjonstrinn for tredimensjonal posisjonering), sikrer vi at de forstøvede partiklene når substratoverflaten vertikalt og jevnt, og unngår ujevn beleggstykkelse, forårsaket av turbulens i luften.

3. Beleggfilmformasjon: Lav-herding sikrer strukturell integritet

Etter at de forstøvede dråpene er avsatt på substratoverflaten, gjennomgår de en lav-temperaturherdeprosess (vanligvis 60 grader -120 grader, langt lavere enn de høye-herdetemperaturene til tradisjonell spinnbelegg) for å danne en film. Lavtemperaturherding forhindrer ikke bare substratdeformasjon eller materialdegradering forårsaket av høye temperaturer, men reduserer også spenningsakkumulering i fotoresisten, forbedrer beleggets vedheft og strukturelle integritet, og legger et godt grunnlag for påfølgende fotolitografiprosesser.